Elektronika półprzewodnikowa
Produkcja zintegrowanych układów obwodów wymaga wysoce wyspecjalizowanego sprzętu, który może działać w wielu trudnych środowiskach, takich jak:
● Plazma w środowisku próżniowym;
● Wysoka temperatura;
● Kontakt z wysoce ścierną płynem;
● Ekspozycja na wiele wysoce żrących chemikaliów.
Korzyść
● Dokładna reprodukcja materiałów dostępnych w dowolnym miejscu na świecie
● Rozległy wybór materiałów, wsparcie inżynierskie i możliwości testowania
● Zdolność do obróbki, wspieranie opracowywania aplikacji NPI systemu symulacji
● Najszerszy portfolio materiałów zaprojektowanych do narzędzi procesowych mokrych
● Wiodący światowy producent materiałów pierścieniowych CMP, w tym TechTron® PPS (globalny standard dla aplikacji CMP)
● Materiały stosowane w narzędziach procesów suchych, takie jak Etch, CVD i implantacja jonów w celu zmniejszenia kosztów i poprawy wydajności
Wspólne materiały
Acetal
Przeciwstatyczne, statyczne tworzywa rozpraszające i przewodzące
CPVC
Fep
Rurka fluoropolimerowa
FR Polipropylen
Ettfe
PVDF
NYLON
ZERKAĆ
ZWIERZAK DOMOWY
PFA
Taśma poliimidowa
PC
Polipropylen
PSU
PPS
PTFE
Pei
Epoksyd
Fenolowa bawełniana tkanina
Durostone
FR4/G10
Bakelit
Siła materiałów
Ø statyczne stopnie rozpraszające
Ø Odporność chemiczna
Ø Niski wytwarzanie cząstek w zastosowaniach łożyska i zużycia
Ø Niski charakterystyka outgassing
Ø niskie poziomy ekstrakcji, gdy umieszczono w chemikaliach o dużej czystości
Ø Możliwości wysokiej temperatury
Ø Wymiarowe stabilność
typowe aplikacje
Łożyska i tuleje
Zbiorniki chemiczne
Izolatory elektryczne
Elastyczne rurki
Strażnicy i tarcze
Pierścienia
Spin Chucks
Statyczne aplikacje kontrolne
Gniazda testowe
Komponenty zaworów
Części obsługujące płytki
Mokre ławki i stacje robocze
Produkty i aplikacje
Produkt | Aplikacja |
TechTron®pps | Pierścień CMP |
Semitron®CMP XL20 | Trawienie i komora reakcyjna CVD |
Ketron®1000 Peek | Przeniesienie opłat |
Ertyte®pet-p | Struktura procesu mokrego |
Duratron®pai | Komponenty procesu mokrego, wkładki do przechowywania chemicznego i do przechowywania wody |